氣體管道系統(tǒng)中氣體與管道的關(guān)系
2023-04-12 16:25:25
近年來以大規(guī)模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求，使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重視。以下針對高純氣體輸送從選材到施工以及驗(yàn)收、日常管理作個(gè)簡單的概述。
常見氣體的種類
電子行業(yè)中常見氣體的分類：
普通氣體，也稱大宗氣體(Bulk gas)：氫氣(H2)、氮?dú)?N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等
特種氣體(Specialty gas)主要有SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6??等等
特殊氣體的種類一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等，一般常用的半導(dǎo)體氣體分類如下：
(一)、腐蝕性/毒性：HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3?等
(二)、可燃性：H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO?等
(三)、助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3?等
(四)、惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He?等
半導(dǎo)體氣體很多是對人體有害。特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性，只要一泄漏就會(huì)與空氣中的氧氣起劇烈反應(yīng)，開始燃燒;還有AsH3的劇毒性，任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害，也就是因?yàn)檫@些顯而易見的危險(xiǎn)，所以對于系統(tǒng)設(shè)計(jì)安全性的要求就特別高。
高純氣配管技術(shù)是高純氣體管道系統(tǒng)的重要組成部分，是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù);所謂高純氣配管技術(shù)包括系統(tǒng)的正確設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測試等內(nèi)容。